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1）塵埃粒子zui高允許數（每立方米）：

大或等于0.5微米的粒子數不能超出3500000個，大或等于5微米的粒子數不能超出20000個；

2）微生物zui高允許數：

浮游菌數不能超出500個每立方米；沉降菌數不能超出10個每培養皿。

3）壓差：

相同潔凈度等級的潔凈車間壓差保持一致，對于不同潔凈等級的相鄰潔凈車間之間壓差要≥5Pa，潔凈車間與非潔凈車間之間要≥10Pa。

4）溫度、濕度：

10萬級無塵室對溫度、濕度無特殊要求時，以穿著潔凈服不產生舒適感為宜，溫度一般控制在秋冬季20~22℃；春夏季24~26℃；波動±2℃。秋冬季潔凈車間空氣濕度控制在30-50%，春夏季潔凈車間空氣濕度控制在50-70%。

5）配電：

潔凈室（區）的主要生產用地一般照度值宜≥300Lx；輔助工作室、人員潔凈和物料潔凈用室、氣閘室、過道等的照度值宜為200~300Lx。

6）噪聲控制：

一、動態檢測時，萬級無塵室內的噪音級不得超出70分貝A。

二、靜態檢測時，萬級亂流無塵室的噪音級不能超出60分貝A。

7）送風方式：

氣流組織10萬級無塵室主要采用的送風方式有以下三種：

1、局部孔板頂棚送風；

2、帶擴散板高效空氣過濾器頂棚送風；

3、上側墻送風等三種送風方式。

8）回風方式：

10萬級無塵室主要采用的回風方式主要有：

1、單側墻下部布置回風口；

2、當采用過道回風時，在過道內均勻布置回風口或在過道端部集中設置回風口。

9）風口風速：

送風口風速米/秒：

1、孔板孔口3~5；

2、側送風口：

（1）貼附射流2~5；

（2）非貼附射流同側墻下部回風1.5~2.5，對側墻下部回風1.0~1.5。

回風口風速（米/秒）：

1、無塵室回風口不超2；

2、過道內回風口不超4。