無塵室的用途 |
發布者: 發布時間:2023/2/20 8:27:21 點擊:530 |
無塵室較主要之作用在于操控產品(如硅芯片等)所觸摸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個杰出之環境空間中生產、制造,此空間咱們稱之為無塵室。依照世界慣例,無塵凈化等級主要是依據每立方米空氣中粒子直徑大于區分規范的粒子數量來規定。也便是說所謂無塵并非沒有一點塵埃,而是操控在一個非常微量的單位上。當然這個規范中契合塵埃規范的顆粒相關于咱們常見的塵埃已經是小的微乎其微,可是關于光學結構而言,哪怕是一點點的塵埃都會發生非常大的負面影響,所以在光學結構產品的生產上,無塵是必定的要求。
每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數量操控在3500個以下,達到了世界無塵規范的A級。應用在芯片級生產加工的無塵規范關于塵埃的要求高于A級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴格操控在每立方米1000個以內,這也便是業界俗稱的1K等級。
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