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潔凈車間是指對空氣潔凈度、溫度、濕度、壓力、噪聲等參數根據需要都進行操控的密閉性較好的空間。由于精密機械工業、半導體工業等對環境的要求，促進了潔凈車間技能的發展。

相對濕度是衡量潔凈車間等級規范的條件參數之一。實際上，一些應用指定的誤差僅為1％RH，這是由于從物理/化學觀念上相對濕度對材料加工和存儲上的影響。

細菌和其他生物污染（霉菌，病毒，真菌，螨蟲）在相對濕度超越60%的環境中能夠活躍繁衍，甚至有一些菌群在相對濕度超越30%時能夠增加。將潔凈車間的相對濕度操控在40%至60%的范圍之間，有效地操控細菌和其他生物的增加，下降其帶來的影響。

除了抑制各種微生物的生長，溫濕度的操控在必定程度上能夠防止各種化學反響或改變反響速度，譬如腐蝕，將跟著相對濕度的增高而加速。相對濕度在50%時易生銹，相反，有些金屬，例如鋁，能夠與水構成一層保護型的氧化物，但并不是好事，由于有或許阻止進一步的氧化反響，影響功率。

潔凈車間的發展與現代工業、技能密切聯系在一起。濕度的操控也不是越低越好。當相對濕度小于30%時，靜電荷能夠在絕緣體或者未接地的表面上繼續存在很長一段時間。較低的濕度容易造成電荷的堆集并成為潛在的具有破壞性的靜電開釋源。當相對濕度超越50%時，靜電荷開始迅速消散。高濕度實際上減小了靜電荷堆集，這是人們期望的成果。

潔凈車間的溫濕度主要是根據工藝要求來確認，但在滿意工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。濕度過高會使人覺得氣悶，而濕度低于30%RH則會讓人感覺枯燥，皮膚皸裂，呼吸道不適以及情感上的不快。