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凈化車間，又稱潔凈室，是用于控制生產(chǎn)環(huán)境中的微粒污染、溫度、濕度、壓力、氣流速度和分布、噪音等參數(shù)，以達到特定潔凈度要求的特殊空間。其標(biāo)準(zhǔn)主要依據(jù)國際標(biāo)準(zhǔn)ISO14644系列和美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS209E。

ISO14644系列標(biāo)準(zhǔn)將潔凈室的潔凈度分為九個等級，從ISO1到ISO9。每個等級都對應(yīng)特定的微粒濃度限值。例如，ISO1等級的潔凈室在0.1微米粒徑下，每立方米空氣中允許的微粒數(shù)不超過10個。

FS209E標(biāo)準(zhǔn)則將潔凈室分為若干個等級，從Class1到Class100,000，每個等級都規(guī)定了每立方英尺空氣中特定粒徑微粒的數(shù)量。例如，Class100潔凈室在0.5微米粒徑下，每立方英尺空氣中允許的微粒數(shù)不超過100個。

除了潔凈度標(biāo)準(zhǔn)，凈化車間的設(shè)計和運行還需遵循以下原則：

1.空氣過濾：使用高效過濾器（HEPA）或超高效過濾器（ULPA）來去除空氣中的微粒。

2.正壓控制：保持潔凈室相對于外部環(huán)境的正壓，防止外部污染空氣的滲入。

3.氣流組織：采用層流或亂流方式控制氣流，以減少微粒的擴散和沉積。

4.材料和設(shè)備：使用低發(fā)塵材料和設(shè)備，減少微粒的產(chǎn)生。

5.人員管理：人員需經(jīng)過培訓(xùn)，穿戴適當(dāng)?shù)臐崈舴⑼ㄟ^風(fēng)淋室等設(shè)施減少帶入的微粒。

6.監(jiān)測和維護：定期監(jiān)測潔凈室的潔凈度和其他環(huán)境參數(shù)，并進行必要的維護和清潔工作。

凈化車間廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、生物技術(shù)、制藥、醫(yī)療器械、食品加工、精密制造等行業(yè)，以確保產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)過程的可靠性。